等離子清洗機(jī)保養(yǎng)

1、檢查電源連接

電壓是否與設(shè)備匹配

（設(shè)備的電壓為220V）。

2、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性

定期檢查真空系統(tǒng)的完整性，這種檢查應(yīng)該在徹底的清洗反應(yīng)室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。

定期檢查反應(yīng)腔體門密封條是不是松動(dòng)。

檢查各管路是否連接緊固，老化等問題。

3、清洗反應(yīng)腔室

首先脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應(yīng)腔體觀察玻璃）真空腔體。

其次腔體導(dǎo)入（氬氣+氧氣）或（氮?dú)?氧氣），用等離子體清除腔體內(nèi)殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。

4、定期檢查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時(shí)，則添加到油紅標(biāo)線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當(dāng)油出現(xiàn)渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪 音異常，則及時(shí)更換真空油。