高壓脈沖等離子清洗機(jī)技術(shù)
1提出了用高壓毫微秒脈沖產(chǎn)生的非平衡等離子體處理印染廢水的方法。
2采用四極質(zhì)譜儀測(cè)量了試驗(yàn)參數(shù)對(duì)高壓脈沖增強(qiáng)射頻磁控濺射ptfe靶等離子體氣氛的影響規(guī)律。
3等離子體源離子注入裝置由脈沖負(fù)高壓源系統(tǒng)、熱陰極弧放電系統(tǒng)、真空室及樣品臺(tái)、真空系統(tǒng)和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等五部分組成。
