這些等離子體在密閉的真空中產生。與常壓條件下相比，每個單位體積中的微粒數較少，這樣就增加了粒子自由程長度，并相對減少了碰撞過程。因此，等離子體能量削弱的傾向減弱，可在空間內更廣泛地傳播。要制造真空腔體，需要使用功能強大的氣泵。真空等離子技術不具備在線聯動功能。

      常壓等離子是在大氣壓條件下產生的。這就是說，不需要使用真空腔體。采用電弧放電噴槍技術，首次實現在大氣壓條件下將非常有效——更重要的是—安全無電勢的等離子直接集成到工藝之中。常壓等離子處理機成本低、性能好，因而作為真空等離子和電暈工藝的工藝替代和工藝提升，獲得了廣泛的應用。 常壓等離子技術的一大優勢，在于其在線集成能力。作為一項工藝準則，這種技術能夠順利集成到現有的生產系統中。

      電暈處理是一種使用高電壓的物理工藝，主要用于薄膜處理。電暈預處理的缺點是，表面活化能力相對較低，而且處理之后的表面效果有時不夠均勻。薄膜的反面也會被處理，有時這是工藝要求需要避免的。而且，經由電暈處理得到的表面張力無法維持長時間的穩定性，經過處理的產品往往只能存放有限的時間。